上海精测半导体于2018年7月在青浦区注册成立，主要从事半导体检测设备及系统的研发、生产和销售，是上市企业武汉精测电子集团股份有限公司的控股子公司。
通过自主构建研发团队及海外并购引入国产化等手段，快速渗透半导体检测设备行业，突破核心技术，增强市场竞争力，实现产业化。在上海市大力支持下，位于市西软件园占地50亩的精测半导体研发产业园已动工建设，届时将集聚一批国产集成电路自主研发的创新企业，共同推动集成电路产业链集群发展。