广东中科半导体微纳制造技术研究院（原中国科学院苏州纳米所广东佛山研究院）成立于2019年7月，是由佛山市、南海区两级政府共同建设，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所支持的广东省省属事业单位。
研究院占地100亩，作为南海区半导体产业发展“一园两区”的先行示范区，研究院以服务区域科技创新和产业需求为导向，以支撑传统产业转型升级和培育发展新质生产力为目标，一期投入12亿元，聚焦半导体芯片制造核心环节，建设4万平方米科研及办公场地，着力打造“半导体微纳加工、半导体材料外延与表征”两大概念验证及产品中试平台，面向光电子器件、功率器件、射频器件、传感器件、生物芯片等领域，开展8英寸氮化镓（GaN）外延材料生长、芯片加工、封装测试等全流程研发及中试公共服务；二期建设6万平方米专业化半导体产业载体，打造成集研发中试、企业孵化、产业基金、人才培养为一体的半导体创新创业示范基地。
研究院立足佛山，面向大湾区，辐射全国，通过“概念验证+产品中试+产业孵化育成”的运营模式，建设具有全国影响力的半导体工程化创新平台、产业培育基地及工程化人才培养基地。已先后获批广东省工程中心、广东省高水平创新研究院、广东省新型研发机构、佛山市重点实验室、佛山市工程技术研究中心、佛山市首批中试平台、广东省博士工作站等资质，同时是国家自然科学基金、广东省自然科学基金依托单位。