广东中科半导体微纳制造技术研究院是由佛山市、南海区共同支持建设的广东省省属事业单位。研究院面向国家重大战略及产业技术攻关需求，布局"新型显示与光电探测"、"功率电子与5G通信"、"MEMS智能传感"等研究方向，开展化合物半导体材料、光电子器件、电子器件、传感器件、精密印刷电子等多种半导体材料与器件工程化研究。
研究院面向重大科研任务实施及区域产业发展需求，建设针对大尺寸材料外延、光电子器件、功率器件、射频器件、传感器件、生物芯片等领域的8吋硅基MEMS和化合物半导体芯片加工中试平台，开展GaN外延材料生长、芯片加工、封装测试等公共服务。
研究院立足佛山，辐射粤港澳大湾区，建设服务半导体产业的高水平技术研发和公共服务平台，打造产业技术源头创新基地、科技成果转移转化基地、高端人才培养集聚基地。