沈阳芯源微电子设备股份有限公司成立于 2002 年，是中国科学院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业。公司主营产品是用于芯片生产的高端半导体设备。芯源是国内***能提供与光刻机联机的涂胶显影机生产企业，连续获评中国半导体设备行业十强，主要客户包括台积电、中芯国际、长江存储、长电科技等海内外一线大厂。芯源是科创板上市公司，在上海临港、日本京都设有子公司，在苏州、杭州、武汉、青岛、厦门、台湾都设有办事处。目前员工超 1000人、年产值15亿，处于高速增长期。上海芯源微企业发展有限公司于2021年在上海临港新片区成立，上海子公司定位是芯源微的研发高地，总投资6.4亿元，占地3万平米，配置可容纳800人的研发办公厂区，国际一流水平的研发实验室，主要开展高工艺技术节点涂胶显影设备、化学清洗设备以及其他新产品、新部件、新平台的研发制造。